一：產品參數

1．  產品名稱：新微型高低溫探針臺

2．  產品型號： KT-Z4019M4T-RL

3．  產品品牌：鄭科探   Zhengketan

4．  生產廠家：鄭州科探儀器設備有限公司 二：功能要求

KT-Z4019MRL4T 測試腔體內部裝有不銹鋼加熱或制冷承載臺，臺面為φ30，臺 面最高可升溫到最高 400℃。臺面四周裝有微型 3 軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小 未封裝的叉指電極等傳感器測試。該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械 泵可達＜5Pa 分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭， 保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由 3 軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測 試電學信號

三：主要技術要求

1．  腔體材質 ：304 不銹鋼 6061 鋁合金 可選

2．  腔體內尺寸： 127mmX57mmX20mm

3．  腔體外尺寸： 150mmX80mmX32mm

4．  腔體重量：不銹鋼材質 約 1.5KG       鋁合金材質  約 0.5KG

5．  腔體上視窗尺寸：Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

6．  腔體抽氣口： KF16 法蘭（其余接口規格可轉接）

7．  腔體真空測量口： KF16 法蘭（其余接口規格可轉接）

8．  腔體進氣口 ：6mm 快擰 或 6mm 快插

9．  腔體冷卻方式：腔體水冷+上蓋氣冷

10． 腔體水冷接口： 6mm 快插

11． 允許正壓： ≤0.05MPa

12． 腔體真空度：機械泵≤5Pa （ 5 分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（ 30 分鐘） 

13． 樣品臺材質：不銹鋼 銀銅合金 純銀塊銀銅合金 純銀塊

14． 樣品臺尺寸： 26x26mm

15． 樣品臺加熱方式 ：電阻加熱 液氮制冷

       16． 樣品臺-視窗 距離：11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離 到 6mm）

17． 樣品臺測溫傳感器：  PT100 型熱電阻

18． 樣品臺溫度：室溫到 400℃  室溫到-190℃

19． 樣品臺測溫誤差： ±0.5℃

20． 樣品臺升溫速率：高溫 100℃/min 最大值    低溫 7℃/min

21． 溫度顯示： 7 寸人機界面

22． 溫控類型：標準 PID 溫控  + 自整定

23． 溫度分辨率 ：0.1℃

24． 溫控精度： ±0.5℃

25． 溫度信號輸入類型： PT100 （可選 K   S   B 型熱電偶）

26． 溫控輸出：直流線性電源加熱+液氮流速控制器

       27． 輔助功能：溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真 空讀數接口

28． 溫控器尺寸 ：32cmX170cmX380cm

29． 溫控器重量：約 5.6KG

       30． 電信號接頭：配線轉接  BNC 接頭    BNC 三同軸接頭   SMA  接頭  香蕉 插頭 線長 1.2 米

       31． 電學性能：絕緣電阻  ≥4000MΩ       介質耐壓  ≤200V      電流噪聲  ≤ 10pA

32． 探針數量：4 探針（可擴展 5 探針）

33． 探針材質：鍍金鎢針 （其他材質可選）

34． 探針尖： 10μm

35． X 軸移動行程 ：20mm     ±10mm（需手動推動滑臺）

36． X 軸控制精度： ≥500μm

37． R 軸移動行程： 120°     ±60°（需手動旋轉探針桿）

38． R 軸控制精度： ≥500μm

      39． Z 軸移動行程 ：2mm     ±1mm